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舜改屬并州。
夏、商復(fù)屬冀州。
周定王十四年(前529)晉置銅鞮邑。
周靈王十二年(前560),晉悼公把銅鞮封給晉大夫羊舌氏為食邑。
周敬王六年(前514),晉頃公滅羊舌氏族,把銅鞮分為銅鞮(今沁縣)、楊氏(今洪洞)、平陽(今臨汾),銅鞮轄境縮小(約包括今榆社、武鄉(xiāng)、沁縣、沁源、襄垣和屯留的一部分)。
周安王二十六年(前376)魏、韓、趙三家分晉,銅鞮屬趙。
秦王贏政十一年(前236),秦兵二攻閼與城,占領(lǐng)趙國城邑九座,復(fù)置上黨郡,轄銅鞮。
東漢、三國、兩晉,銅鞮隸屬上黨郡。
十六國時(shí)期,銅鞮改隸并州鄉(xiāng)郡。
北魏建義元年(528),復(fù)置襄垣郡,分銅鞮、襄垣,設(shè)五原縣,屬襄垣郡,并置烏蘇城。
北齊天保九年(558),撤襄垣郡,五原縣復(fù)歸銅鞮、襄垣。
隋開皇三年(583),廢鄉(xiāng)郡,銅鞮歸潞州。
大業(yè)元年(605),撤甲水縣(治在今南涅水村),歸銅鞮、鄉(xiāng)縣。
唐武德元年(618),銅鞮隸屬韓州。
武德三年(620),析銅鞮、鄉(xiāng)縣復(fù)置甲水縣。
武德九年(629)省甲水縣,復(fù)歸銅鞮、鄉(xiāng)縣。
貞觀十七年(643)廢韓州,銅鞮隸河?xùn)|道潞州。
永徽六年(655),銅鞮始隸沁州。
顯慶四年(659)仍歸潞州。
五代十國時(shí),銅鞮縣先后屬唐、晉、漢之潞州。
宋太平興國二年(977),在銅鞮縣亂柳(今段柳村)石圍建威盛軍(今沁縣城),屬河?xùn)|路,隸銅鞮、武鄉(xiāng)。
靖康元年(1126)十月,金兵南下,威勝軍刺史李植率眾投降,威勝軍改綿陽郡,屬河?xùn)|南路,銅鞮隨金。
天會(huì)六年(1128),改綿山郡為沁州。
元光二年(1223),升沁州為義勝節(jié)鎮(zhèn)軍,領(lǐng)銅鞮、武鄉(xiāng)、沁源、綿上四縣及南關(guān)鎮(zhèn)。
明洪武初年,省銅鞮縣入州,直隸山西布政司,領(lǐng)武鄉(xiāng)、沁源二縣。
萬歷二十四年(1596)五月,改屬汾州府。
萬歷三十二年(1604)仍直隸山西布政司。
清沿明制,沁州仍為山西省直隸州,歸冀寧道,領(lǐng)武鄉(xiāng)、沁源二縣。
1912年,廢沁州改稱沁縣。
1930年,廢道,直屬山西省,劃為二等縣。
1937年10月屬山西省第三行政區(qū),行政公署駐沁縣。
1939年7月5日,日軍二次侵占沁縣城,四年9月,抗日政府設(shè)路東辦事處。
1941年9月,設(shè)晉冀豫邊區(qū)太岳區(qū),共四個(gè)專區(qū),沁縣屬于一專區(qū)。
1942年3月,漳源縣并入沁縣。
1945年10月1日,沁縣屬山西省長治專區(qū),轄第一至第五個(gè)行政區(qū)。
1953年5月,實(shí)行鄉(xiāng)、村建制。
1956年3月,擴(kuò)大鄉(xiāng)區(qū)劃,撤銷區(qū)建制,將79個(gè)鄉(xiāng)合并為29個(gè)鄉(xiāng)。
1958年8月至9月,成立人民公社,將29個(gè)鄉(xiāng)改制為火箭人民公社、上游人民公社、太陽紅人民公社、衛(wèi)星人民公社、太陽人民公社、前進(jìn)人民公社6個(gè)人民公社。
1958年9月,沁縣與襄垣縣合并,稱襄沁縣,縣機(jī)構(gòu)駐沁縣。
10月,沁源縣與襄沁縣合并,稱沁縣。
1958年,長治專區(qū)改稱晉東南專區(qū),沁縣隸屬其下。
同年11月,襄垣、沁縣、沁源三縣合并為襄垣縣。
1959年3月,增設(shè)松村、次村2個(gè)人民公社。
1959年7月、9月,沁源縣和襄垣縣先后從沁縣分出,恢復(fù)原建置。
1963年2月,將9個(gè)人民公社劃為22個(gè)人民公社。
1971年楊安人民公社劃歸屯留縣,1972年楊安人民公社復(fù)歸沁縣。
1985年4月,國務(wù)院撤銷晉東南地區(qū),實(shí)行市管縣體制,沁縣屬長治市管轄。